的巨大成功，他们的进步还有些不足。不过，就自身乃至国内相关行业来说，这种进步肯定是巨大的。



目前这些企业包括其它的一些行业内的企业在国产光刻机研制成功事情的激励下，正在加紧努力，争取能够早日创造出好的成绩。