亚历山大说道：：=“理由。”



“过去，对LPCVD和APCVD最常使用的反应室是一个简单的管式炉结构，即使在今天，管式炉也还被



广泛地应用于沉积诸如Si3N4和二氧化硅之类的基础薄膜(氧气中有硅元素存在将会最终形成为高质



量的SiO2，但这会大量消耗硅元素；通过硅烷和氧气反应也可能沉积出SiO2-两种方法均可以在管



式炉中进行)。



而且，最近，单片淀积工艺推动并导致产生了新的CVD反应室结构。这些新的结构中绝大多数都使



用了等离子体，其中一部分是为了加快反应过程，也有一些系统外加一个按钮，以控制淀积膜的质



量。在PECVD和HDPCVD系统中有些方面还特别令人感兴趣是通过调节能量，偏压以及其它参数，可



以同时有沉积和蚀刻反应的功能。通过调整淀积：蚀刻比率，有可能得到一个很好的缝隙填充工艺。”



亚历山大思索了一下，说道：“按照你的意思，现在技术成熟了，也就不需要过分的思考到底是物



理气相沉积法好，还是化学沉积法更加合理？”



“对，所以陈凡这个实验，我觉得没意义，大家已经证明了，这两个实验无论从哪个出发点，都是



可以接近答案的，无非就是两个办法而已，而陈凡做的就相当于一道数学题，两种算法，非要证明



这两个算法，到底哪个是好的，只要能得到答案的算法，那自然就是好的。”



亚历山大后仰着脑袋，看着天空，云朵在慢慢的移动着。



就像是这群少年一样，充满了干劲，活力。



“那为什么，陈凡强调会爆炸呢？”



“气压，陈凡想通过改变气压，来达到自己试验的目的，说白了，就是测算峰值，只是，我更加感



觉，陈凡是在想测试这个机器的耐受能力，而不是在真的试验，我有点恼火，他好像是为了破坏而



破坏。”



“不不不，雅士多，我问你的不是这个，我问你的是，陈凡为什么要强调爆炸。”



“直觉么？”



亚历山大打了一个响指，说道：“你觉得，我为什么可以成为物理委员会会长？是因为我学术地位？还是因为我家里有钱？”



“你家里有钱。”



干，不要说实话。



亚历山大摇头说道：“我说的意思不是这个，我是说，直觉呀，我直觉我能当上，我就去了，你觉



得，直觉这个东西，在物理比重当中，占据着多少？”



“可能很多吧，但是我更加喜欢相信科学，不喜欢相信神学，当然了，后期的牛顿也相信神学了，



因为力的劲头，宇宙初始的那一个力，到底是来自哪里，谁也不知道，最后只能归咎于上帝，但是



牛顿晚年沉迷的是货币制造，我们物理学家都是财迷，这一点你要承认。”



“那是一定的，任何实验都需要金钱的积累，没有金钱，你的实验没办法进行，好了，时间已经差



不多了。”



雅士多起身，说道：“陈凡，半个小时这个理论，我想你应该知道的吧，实验还是会继续的。”



“那好吧，我弃权，反正我是不会回去的，我感觉还是会爆炸，只是时间没到罢了。”



“我现在可以告诉你为什么我觉得不会爆炸，因为你操作的那个机器的承受能力是五倍，你觉得，



五倍的承受力，你修改的最大的峰值，是可以办得到么？”



“偶，五倍呀。”



雅士多叹着气，还是得告诉最后的答案，让这个孩子死心，人得经历一下失败，才会成长，一直顺



畅，那就不是少年的人生了。



嘴上这么念叨着，但是骨子里面还是心疼着。



这孩子要是自己教的话，那绝对能给教明白的。



“如果是五倍的话，我算一下，你等我一会。”



陈凡右手开始掐着手指头，嘴里念叨着一堆听不懂的词汇。



周晨小声的说道：“老师，陈凡是不是跳大神了？”



“我怎么知道，还有，我们要相信科学，另外，也要相信陈凡，别想别的。”



“可是看陈凡样子，他好像有点不正常了，你觉得陈凡实验的目的到底是什么？”



“我不懂，别问我。”



曹原无奈的叹着气，他确实看不懂。



从昨天开始，陈凡做的这些事情，他就已经彻底的看不透了。



似乎在朝着无法估计的方向发展着。



“十三分，三十五